氣體泄漏探測(cè)器（半導(dǎo)體材料氣體）

更新時(shí)間：2025-06-01

訪問(wèn)量：1875

廠商性質(zhì)：代理商

生產(chǎn)地址：

簡(jiǎn)要描述：

特點(diǎn)：
只要更換傳感器單元就可以檢測(cè)對(duì)象氣體
用盒式傳感器單元無(wú)需進(jìn)行檢測(cè)器校正
大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間

對(duì)象氣體砷化三氫AsH3、磷化氫PH3、乙硼烷B2H6、硅烷SiH4、氫氣H2 等半導(dǎo)體材料氣體

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產(chǎn)品介紹

型號(hào)
XPS-7

檢測(cè)原理
定電位電解式

檢測(cè)氣體對(duì)象
臭氧

檢測(cè)范圍
0～10ppm

分辨率
0.01ppm

指示精度
FS±10%以?xún)?nèi)

報(bào)警模式
2段報(bào)警方式

報(bào)警方式
蜂鳴器（間歇音）、報(bào)警燈閃爍

應(yīng)答時(shí)間
60秒以?xún)?nèi)（60%應(yīng)答）

電源
5號(hào)堿性干電池4節(jié)或AC專(zhuān)用變壓器

電池使用時(shí)間
連續(xù)12小時(shí)以上

外型尺寸
W762×H150×D128（除去突起物）

檢測(cè)方式
泵吸式

使用溫度范圍
0℃～40℃

重量
約1.3kg

附件
肩背皮帶、5號(hào)堿性干電池4節(jié)、過(guò)濾紙兩張

選購(gòu)件
AC專(zhuān)用變壓器、傳感器專(zhuān)用通電臺(tái)、數(shù)據(jù)收集配套元件

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檢測(cè)氣體一覽表：

XPS-7對(duì)象氣體一覽表
型號(hào)
氣體
F.S
型號(hào)
氣體
F.S
型號(hào)
氣體
F.S

XPS-7NH
NH3
100ppm
XPS-7GH
GeH4
1ppm
XPS-7HS
H2S
50ppm

XPS-7SH
SiH4
25ppm
XPS-7CL
CL2
5ppm
XPS-7CO
CO
250ppm

XPS-7DC
SiH2CL2
25ppm
XPS-7CF
CLF3
1ppm
XPS-7DS
Si2H6
25ppm

XPS-7AS
AsH3
250ppm
XPS-7HC
HCL
25ppm
XPS-7F2
F2
5ppm

XPS-7PH
PH3
1ppm
XPS-7HF
HF
10ppm
XPS-7OZ
O3
1ppm

XPS-7BH
B2H6
500ppm
XPS-7HB
HBr
10ppm

XPS-7SE
H2Se
250ppm
XPS-7NO
NO
100ppm